由于端部的質量使設備彎曲或腔室端口對齊不準確,安裝在真空腔法蘭上的探頭通常無法精確到達腔室內的指定點。 為了解決這個問題,我們提供McTilt系列精密型載物臺可以安裝在設備和腔室端口之間。
McTilt系列精密型載物臺目前最好的兩軸傾斜平臺。從自潤滑樞軸軸承到堅固的結構,一切都說明了我們的質量。McTilt系列精密型載物臺帶有2?英寸匯流法蘭,具有市場上任何類似萬向節中最短的總高度(3.2英寸(81毫米)。所有萬向節上的凈內徑(ID)最大化,以清除小控件并將其傾斜得更遠。幾乎任何尺寸的電動和超重型版本也可供選擇。
McTilt系列精密型載物臺有五種標準尺寸,也可以根據要求定制尺寸。標準法蘭尺寸范圍為2?英寸(CF38)至10英寸(CF200)。所有版本均可完全烘烤至210°C。
Model: | ClearI.D. | OAL? |
McTilt1000 | 7.80″ | ?5.5″ |
McTilt 800 | 5.87″ | 4.75″ |
McTilt 600 | 4.0″ | 4.0″ |
McTilt 338 | 2.0″ | 4.0″ |
McTilt 200 | 1.5″ | 3.2″ |
具有4?英寸、6英寸、8英寸和10英寸匯流的McTilt系列精密型載物臺使用焊接波紋管。這進一步降低了整體高度,并提供了最大的清晰ID,但不會增加成本。事實上,帶有焊接波紋管的McTilts通常比其他制造商的成型波紋管成本更低。所有McTilt在兩個軸上的總范圍為20°(±10°)。
穩健的McTilt設計理念非常適合擴展到更大的尺寸, 萬向節均使用14英寸(CF300)法蘭,采用步進電機驅動,上部萬向節包括120秒內30英寸(762毫米)的Z軸(垂直)行程,同時提升600磅(270公斤)的負載。
McTilt系列精密型載物臺還包括分辨率為0.005°的編碼器,可實現遠程位置的角度精度。其他型號還包括XY平移,全步進電機驅動,也有編碼器。