丹麥 SENS4 VDM-2 陶瓷膜片傳感器,隔膜真空傳感器
SENS4 VDM-2 陶瓷膜片真空傳感器
1×10-1?至 1333 mbar / 1×10-1?至 1000 Torr / 10 至 1.333×105 Pa
特點和優點
- 測量范圍為 4 個數量級，從 1.0E-1 到 1333 mbar
- 傳統 1000 Torr 全尺寸 CDG 的具有成本效益的替代方案
- 在整個壓力范圍內不受氣體影響的測量
- 耐腐蝕陶瓷或聚對二甲苯隔膜
- 0-10 VDC 可編程電壓輸出
- 數字 RS-232 或 RS-485 接口
- 用于外部控制的可選固態設定值繼電器
- 可直接替代其他供應商的真空計
SENS4 VDM-2 陶瓷隔膜真空傳感器基于耐腐蝕的氧化鋁隔膜，該隔膜會隨著施加的壓力而彎曲。核心壓力傳感器元件采用壓阻測量。隔膜傳感器測量真空氣體壓力，不受氣體類型或成分的影響。
與通常使用充油傳感器元件的不銹鋼壓電陶瓷真空傳感器相比，陶瓷壓電傳感器元件清潔干燥，消除了污染真空系統的風險。
電容式隔膜真空計的替代品
電容式隔膜真空計用于許多真空應用中，用于高級過程的測量和控制。VDM-2 傳感器是傳統 1000 Torr/mbar 滿量程電容膜片真空計 （CDG） 的一種經濟高效且緊湊的替代品。
可在惡劣環境中使用
SENS4 VDM-2 可用于可能存在腐蝕性氣體和化合物的苛刻真空應用。陶瓷氧化鋁隔膜對許多溶劑和酸具有出色的耐腐蝕性。
SENS4 VDM-2 傳感器還可選配聚對二甲苯保護屏障，以防止傳感器材料腐蝕或氧化。聚對二甲苯是一種獨特的聚合物，具有高度的耐腐蝕性和疏水性，專為醫療器械的凍干和過氧化氫等離子體滅菌等醫療應用而設計。
在存在宏觀顆粒的真空系統和過程中，可選的保護擋板可作為防止污染物沉積在傳感器隔膜上的有效屏障。
氧化鋁傳感器元件設計堅固，能夠承受瞬時通風和高達 2 bar 絕對壓力 （29 psia） 的過壓。
SENS4 可靠而穩健的壓力控制
為了優化負載鎖定性能，需要準確可靠地控制多個壓力參數。SENS4 SmartPirani™ ATM傳感器具有三個獨立的固態開關繼電器，可配置為控制排氣、傳輸室閘閥和負載鎖門。
與傳統的機電繼電器相比，固態繼電器具有卓越的可靠性和更快的開關時間，同時提供無電弧觸點，并且在開關觸點時不會產生EMI（電磁干擾）。SENS4 SmartPirani™ ATM 控制繼電器經久耐用，并通過了 UL 認證、CSA 認證和 EN/IEC 60950-1 認證，在用于控制關鍵真空過程和高循環負載鎖定應用時具有最大的信心。
