丹麥 SENS4 VDM-5 DiCAP™ 雙膜片傳感器,真空計
SENS4 VDM-5 DiCAP™ 雙膜片傳感器
5×10-3?至 1333 mbar / 3.75×10-3?至 1000 Torr / 5×10-2?至 1.333×105 Pa
SENS4電容和壓電隔膜組合傳感器
- 測量范圍為 5×10-3?至 1333 mbar（3.75×10-3?至 1000 Torr）
- 不依賴氣體的隔膜傳感器
- 陶瓷電容膜片真空計和壓電膜片
- 可安裝在任何方向，而不會影響性能。
- 可編程電壓輸出信號，可與其他供應商仿真
- 數字 RS-232 或 RS-485 接口
- 用于真空過程控制的三個固態設定點
- 適用于腐蝕性環境的可選聚對二甲苯傳感器涂層
- 經濟實惠的緊湊型多傳感器解決方案
SENS4 VDM-5 傳感器為各種真空應用提供一體化測量解決方案，樹立了新標準。它與任何其他真空計的不同之處在于，它提供從 5.0E-3 到 1333 mbar 的整體經濟高效的不受氣體影響的測量
在氣體成分或類型可能發生變化的真空應用中，傳統的氣體依賴型皮拉尼真空計會導致測量結果與實際壓力產生偏差。VDM-5 傳感器使用精密電容隔膜計 （CDG） 傳感器，該傳感器消除了對氣體的依賴性，并在氣體特性發生變化時也能提供準確的測量。
集成的熱損失 MEMS 皮拉尼傳感器將測量范圍擴展到 1E-6 mbar，并為電容壓力計提供了一種新穎的自動零點調整功能，消除了傳統電容隔膜表手動調零的常見需求。
可在惡劣環境中使用
SENS4 VDM-5 還可用于可能存在腐蝕性和介質的嚴苛真空應用。
不僅適用于半導體行業的清潔氮氣通風負載鎖定應用，還適用于可能存在顆粒和腐蝕性介質的應用。對于傳感器可能暴露于腐蝕性或腐蝕性氣體中的應用，SENS4 SmartPirani™ 可提供保形保護涂層作為有效的屏障。
根據實際應用，SENS4 VDM-5 傳感器系列提供可選的陶瓷或聚對二甲苯保護屏障，以防止傳感器材料的腐蝕或氧化。
陶瓷具有很強的耐腐蝕性，是電容式隔膜表中真空傳感器隔膜的成熟材料。
聚對二甲苯是一種獨特的聚合物，具有高度的耐腐蝕性和疏水性，專為醫療器械的凍干和氫過氧化物等離子體滅菌等醫療應用而設計。
在真空系統和過程中，真空傳感器可能容易受到顆粒物的損壞，SENS4 VDM-5 DiCap™ 傳感器配有保護擋板，可作為防止宏觀顆粒的有效屏障。結合這些保護涂層選項，SENS4 DiCAP™ 傳感器裝備精良，可應對具有挑戰性的真空環境。
