美國ARC汞燈
先進輻射公司用于光刻技術的直流汞短弧燈系列代表了高強度紫外輻射源在設計、制造和性能方面的最先進水平。
這些燈管可提供與大多數現有光刻膠材料的光敏性相對應的高強度輻射。這些燈管能滿足電弧穩定性和可靠長壽命的要求，是當今尖端電子工業中集成電路經濟制造所必需的。
短弧燈的點光源配置使該系列燈非常適合光化學、熒光顯微鏡、微電影放大、光學儀器和其他需要高強度紫外線輻射的應用。
此類別中的產品：
100 瓦汞短弧燈
200 瓦汞短弧燈
350 瓦短弧燈
500 瓦短弧燈
ARC的一系列用于光刻的深紫外（DUV）短弧燈代表了用于短波長紫外光刻膠曝光的高強度光源的設計、制造和性能的最新水平。
深紫外輻射是由汞氙等離子體產生的。在燈的制造過程中，必須仔細控制等離子體成分的準確濃度和比例，以獲得最大的輸入功率與輸出輻射轉換。這里描述的八個DUV燈代表了美國領先的DUV曝光設備和系統制造商三年多的研發成果。
這些燈非常適合幾種DUV光刻膠配方。聚甲基丙烯酸甲酯在210-260nm范圍內敏感；從200到330nm；AZ2400系列，從240到310nm；而ODVR系列的靈敏度在200到315納米之間。
