MeX
From SEM to optical 3D surface measuring system
從掃描電鏡到光學(xué)三維表面測量系統(tǒng)
MeX turns any SEM into a optical 3D measuring system
MeX將任何掃描電子顯微鏡（SEM）轉(zhuǎn)化為光學(xué)3D測量系統(tǒng)
MeX是一個獨立的軟件包，將任何帶有數(shù)字成像的SEM轉(zhuǎn)變?yōu)檎嬲谋砻嬗嬃吭O(shè)備。利用立體圖像，該軟件自動獲取3D信息，并呈現(xiàn)高度精確、穩(wěn)健且密集的3D數(shù)據(jù)集，用于執(zhí)行可追溯的計量檢查。
無論SEM放大倍數(shù)如何，都可以獲得結(jié)果，實現(xiàn)宏觀和微觀水平的計量。運行MeX無需額外的硬件，可以與任何SEM一起使用。
由于獨特的自動校準(zhǔn)例程，校準(zhǔn)數(shù)據(jù)會自動精細(xì)調(diào)整。因此，只有MeX能夠在SEM的任何放大倍數(shù)下實現(xiàn)可追溯的3D測量。
特征：
高度和粗糙度測量
輪廓測量可實現(xiàn)樣品的虛擬切割。用戶在光學(xué)圖像上定義路徑，并接收相應(yīng)的3D輪廓。粗糙度和輪廓測量符合公認(rèn)的國際EN ISO標(biāo)準(zhǔn)，如4287/4288。輪廓分析還允許擬合諸如圓、角等圖元。
體積分析
體積分析計算空隙和突起的體積。測量區(qū)域直接定義在光學(xué)圖像上。在肥皂膜模型的整個計算過程中確定體積。對于選定區(qū)域的3Dboundary，MeX會計算一個行為類似肥皂膜的覆蓋表面。
面積測量
面積分析可確定表面上的Sa、Sq和Sz。參數(shù)如粗糙度，波紋度和分形維數(shù)的用戶定義的曲面片實現(xiàn)。MeX自動計算ISO一致性分析。對于表面的視覺表示，可以使用灰度或偽彩色深度圖。也可以顯示等值線來突出深度變化。
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