美國(guó)Ambrell EKOHEAT感應(yīng)加熱系統(tǒng)用于晶圓外延MOCVD

美國(guó)Ambrell EKOHEAT感應(yīng)加熱系統(tǒng)半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)晶圓制造中的應(yīng)用-石墨坩堝加熱

來(lái)自新能源效率行業(yè)的日益增長(zhǎng)的需求為半導(dǎo)體供應(yīng)商提供了巨大的機(jī)會(huì)。然而,在加速增長(zhǎng)的過(guò)程中存在著緊迫的挑戰(zhàn)。生產(chǎn)半導(dǎo)體工業(yè)原料、晶圓和成品。這些過(guò)程需要精確控制在制造原料或晶體的過(guò)程中加熱或是在最終的半導(dǎo)體產(chǎn)品中。讓我們提供解決你的緊迫挑戰(zhàn)的方法半導(dǎo)體制造工藝.
Ambrell先進(jìn)的感應(yīng)加熱可以使你的晶體生長(zhǎng)和晶圓制造工藝更可靠、更精確成本效益高。我們的電熱產(chǎn)品是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體應(yīng)用;他們加熱熔爐或晶圓比電阻加熱更均勻更有效率,Ambrell的非接觸式電磁加熱技術(shù)使用能源,提高生產(chǎn)力,提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)半導(dǎo)體產(chǎn)品.

EKOHEAT解決方案為您提供晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)操作員精確控制您的加熱過(guò)程,并允許精確調(diào)節(jié)熔體溫度。 我們干凈精確的方法來(lái)改變大氣支持高質(zhì)量晶體的生長(zhǎng)。 依考特設(shè)計(jì)意味著輸出功率通過(guò)AC嚴(yán)格調(diào)節(jié)線路電壓從360到520V,而輸出控制為從2%調(diào)整到100%的力量–控制期間的溫度加熱和冷卻以確保可以利用更多的Boule。精確,頻率捷變調(diào)音可提供精確的所需的功率等級(jí)波動(dòng)下的最佳質(zhì)量負(fù)載條件,以及準(zhǔn)確地調(diào)整過(guò)程或設(shè)置變化。

EKOHEAT感應(yīng)加熱系統(tǒng)的核心優(yōu)勢(shì)是平穩(wěn)快速地融入您的能力當(dāng)前的生產(chǎn)過(guò)程。 我們的系統(tǒng)易于定制滿(mǎn)足您的業(yè)務(wù)要求-它們具備自動(dòng)化功能,完整的模擬和數(shù)字I / O面板。 他們提供了一個(gè)小和最小的占用空間以及外部工作臺(tái)(如果有)您的過(guò)程是遠(yuǎn)程的。 內(nèi)置110或220 Vac便利插座可容納您的手術(shù)器械。 在簡(jiǎn)而言之,我們的解決方案的安裝使停機(jī)時(shí)間或修改時(shí)間最少到您現(xiàn)有的設(shè)置-我們將幫助您啟動(dòng)并運(yùn)行通過(guò)新的更有效的加熱過(guò)程迅速完成。

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