美國Ambrell EKOHEAT感應加熱系統在半導體晶體生長,晶圓制造中的應用-石墨坩堝加熱
來自新能源效率行業的日益增長的需求為半導體供應商提供了巨大的機會。然而,在加速增長的過程中存在著緊迫的挑戰。生產半導體工業原料、晶圓和成品。這些過程需要精確控制在制造原料或晶體的過程中加熱或是在最終的半導體產品中。讓我們提供解決你的緊迫挑戰的方法半導體制造工藝.
Ambrell先進的感應加熱可以使你的晶體生長和晶圓制造工藝更可靠、更精確成本效益高。我們的電熱產品是專門設計的半導體應用;他們加熱熔爐或晶圓比電阻加熱更均勻更有效率,Ambrell的非接觸式電磁加熱技術使用能源,提高生產力,提供優質服務半導體產品.
EKOHEAT解決方案為您提供晶體生長系統操作員精確控制您的加熱過程,并允許精確調節熔體溫度。 我們干凈精確的方法來改變大氣支持高質量晶體的生長。 依考特設計意味著輸出功率通過AC嚴格調節線路電壓從360到520V,而輸出控制為從2%調整到100%的力量–控制期間的溫度加熱和冷卻以確保可以利用更多的Boule。精確,頻率捷變調音可提供精確的所需的功率等級波動下的最佳質量負載條件,以及準確地調整過程或設置變化。
EKOHEAT感應加熱系統的核心優勢是平穩快速地融入您的能力當前的生產過程。 我們的系統易于定制滿足您的業務要求-它們具備自動化功能,完整的模擬和數字I / O面板。 他們提供了一個小和最小的占用空間以及外部工作臺(如果有)您的過程是遠程的。 內置110或220 Vac便利插座可容納您的手術器械。 在簡而言之,我們的解決方案的安裝使停機時間或修改時間最少到您現有的設置-我們將幫助您啟動并運行通過新的更有效的加熱過程迅速完成。
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