線性濺射 PVD 系統

該系列線性濺射 PVD 系統可在大型基板上進行高產能生產，可無縫集成到更大的生產工具集群中，并提供超強均勻性。
使用 Angstrom Engineering 的線性濺射 PVD 系統，可以在顯示器、光伏和半導體應用的大面積面板上加工半導體或金屬薄膜。可解決研究人員在大面積或大量基底上進行濺射時所面臨的危險。從氣體流量和等離子體管理到磁控管的均勻性和溫度控制，Angstrom 的線性濺射 PVD 系統可徹底改變工作流程，實現比以往更高產能的生產。

將產品推向市場的工具——在非常大的基底上制作設備，一次運行可堆疊多層，且非常均勻，材料的利用率非常高。