美國Angstrom Sciences圓形磁控管：

Angstrom Sciences 的環(huán)形磁控管已被公認(rèn)為濺射行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)，這是因?yàn)?Angstrom Advantage™ 和大量其他設(shè)計(jì)特性為配置和工藝性能提供了幾乎無限的可能性。

總功率兼容性

低阻抗磁頭提供 RF、DC、中頻 DC、脈沖 DC、HiPIMS 和微波電源兼容性

標(biāo)準(zhǔn)配件

我們使用 ISO NW 標(biāo)準(zhǔn)配件以及 Conflat? 金屬密封法蘭。所有公用設(shè)施都保持在大氣中，并通過標(biāo)準(zhǔn) O 形圈壓縮接頭進(jìn)行訪問，以便輕松安裝在任何真空系統(tǒng)中。

全系列尺寸

圓形磁控管源的直徑為 1 英寸（25 毫米）至 16 英寸（406 毫米）和更大的目標(biāo)，采用標(biāo)準(zhǔn)或定制配置。

快速、輕松地更改目標(biāo)

我們的專利螺紋靶夾和小圓陰極上的陽極屏蔽層允許您在不使用輔助工具的情況下更換靶標(biāo)。其內(nèi)置的可調(diào)節(jié)性還允許您安裝不同厚度的目標(biāo)，而無需使用任何間隔裝置。

高速率和高性能

憑借更高的功率密度，您可以更快地涂覆基材。因此，Angstrom Sciences 可以最大限度地提高您的包衣區(qū)域和目標(biāo)利用率（通常在 40% 范圍內(nèi)），而無需權(quán)衡速率。