美國(guó)Angstrom Sciences,磁控濺射,ONYX? 磁控管,圓磁控管,Circular Magnetron
Angstrom Sciences 的圓形磁控管已成為濺射行業(yè)的公認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)，因?yàn)?Angstrom Advantage™ 和許多其他設(shè)計(jì)特點(diǎn)在配置和工藝性能方面提供了幾乎無(wú)限的可能性。
多功能、緊湊的設(shè)計(jì)
其緊湊的設(shè)計(jì)使我們的圓形磁控管成為任何新應(yīng)用或改造應(yīng)用的理想選擇，包括用于最小真空室的最復(fù)雜的集群組件。
總功率兼容性
低阻抗磁頭提供 RF、DC、中頻 DC、脈沖 DC、HiPIMS 和微波電源兼容性。
標(biāo)準(zhǔn)配件
我們使用 ISO NW 標(biāo)準(zhǔn)配件以及 Conflat? 金屬密封法蘭。所有公用設(shè)施都保持在大氣中，并通過(guò)標(biāo)準(zhǔn) O 形圈壓縮接頭進(jìn)行訪問(wèn)，以便輕松安裝在任何真空系統(tǒng)中。
全系列尺寸
圓形磁控管源的直徑為 1 英寸（25 毫米）至 16 英寸（406 毫米）和更大的目標(biāo)，采用標(biāo)準(zhǔn)或定制配置。
快速、輕松地更改目標(biāo)
我們的專(zhuān)利螺紋靶夾和小圓陰極上的陽(yáng)極屏蔽層允許您在不使用輔助工具的情況下更換靶標(biāo)。其內(nèi)置的可調(diào)節(jié)性還允許您安裝不同厚度的目標(biāo)，而無(wú)需使用任何間隔裝置。
下限、壓力、高功率
ONYX? 磁控管可以在極低的壓力下運(yùn)行（低至 10-4 Torr 范圍），我們的直接冷卻設(shè)計(jì)可提供高達(dá) 250 瓦/英寸（30 瓦/cm2）的功率密度連續(xù)運(yùn)行。
高速率和高性能
憑借更高的功率密度，您可以更快地涂覆基材。因此，Angstrom Sciences 可以最大限度地提高您的包衣區(qū)域和目標(biāo)利用率（通常在 40% 范圍內(nèi)），而無(wú)需權(quán)衡速率。
更高的均勻性
得益于我們獲得專(zhuān)利的異形磁體，我們的磁控管還可以提供更高的沉積均勻性 – 通常在 1-3% 的±范圍內(nèi)。
低污染
由于磁場(chǎng)分布在整個(gè)靶面上，因此可以最大限度地減少顆粒污染和再沉積的缺陷。
全面承諾
所有 Angstrom Sciences 的磁控管均享有整整兩年的工藝和材料質(zhì)量保證。磁控管是我們的核心業(yè)務(wù)，我們隨時(shí)準(zhǔn)備確保您滿意。
