磁體映射套件提供了一種測(cè)量磁控管磁場(chǎng)并將其與磁體陣列的原始分布圖進(jìn)行比較的方法。

可以提供磁成像套件，使用戶能夠測(cè)量磁控管的場(chǎng)強(qiáng)，并確定磁體陣列是否有足夠的損壞或退化以保證更換。

隨著磁控濺射陰極中的磁場(chǎng)減弱，工作電壓和最低工作壓力將增加，從而對(duì)薄膜質(zhì)量和均勻性產(chǎn)生負(fù)面影響。

擁有磁性診斷工具將允許用戶確定過(guò)程偏移是由于磁控管還是其他原因引起的。

磁成像套件由分布驗(yàn)證板、高斯計(jì)和探頭組成。映射板設(shè)計(jì)為適合濺射陰極，并鉆有沉頭孔，以便可以在目標(biāo)表面獲取讀數(shù)。這允許一致的放置，并且讀數(shù)可以與每個(gè)?Angstrom Sciences?磁控濺射陰極提供的原始磁圖進(jìn)行比較。