Angstrom Sciences 提供全系列的 UHV 磁控管設(shè)計(jì)，包括我們的“ONYX-UHV”，它具有全金屬密封件、陶瓷絕緣體和可拆卸磁陣列。全焊接結(jié)構(gòu)允許在 450oC 下烘烤。“ONYX-UHV”圓形靶材直徑為 1 英寸（25 毫米）至 16 英寸（400 毫米），與標(biāo)準(zhǔn) ONYX 高真空陰極中的所有附件、磁鐵組和功能兼容。ONYX-UHV 線性陰極還提供定制目標(biāo)尺寸，以滿足任何應(yīng)用要求。還提供“ONYX-HT”（標(biāo)準(zhǔn) ONYX 陰極的高溫變體，帶有全陶瓷絕緣體，用于高溫運(yùn)行，提供“接近”-UHV 性能）。

描述

這些磁控管與 DC、RF、脈沖 DC 和 HiPIMS 電源兼容。還提供全系列選項(xiàng)，包括插入長度、擋板、氣體入口和交叉污染防護(hù)罩。

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