美國Angstrom Sciences,ONYX? 磁控管,圓磁控管,二極管磁控管Diode Magnetron
Angstrom Sciences， Inc. 成立于 1988 年，為高質量薄膜的等離子體氣相沉積提供先進的磁控管和精制材料。該公司非常注重研發，很快就為磁性、水冷和圓形磁控管目標夾緊設計方面的多項技術進步申請了專利。Angstrom Advantage™ 的特點創造了薄膜行業中最先進、最易于使用的磁控管。
Diode Magnetron
在二極管濺射中，不使用磁鐵，因此沒有磁場來容納等離子體。這意味著等離子體離子在整個真空系統中自由流動，并腐蝕了靶材的幾乎整個表面積，從而提高了靶材的利用率。然而，這也意味著濺射薄膜顆粒可以自由地在整個腔室中移動，而不是直接移動到基板上。這可以顯著增加您的加工時間，并且由于沒有電子限制，基板將看到更多的熱量。
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