旋轉(zhuǎn)磁控管是圓形磁控管的變體，其中磁體組繞中心軸機(jī)械旋轉(zhuǎn)。該實施例最初是為半導(dǎo)體應(yīng)用開發(fā)的，允許以盡可能小的陰極直徑對固定襯底進(jìn)行均勻涂覆。該技術(shù)的其他應(yīng)用包括：材料重新沉積在目標(biāo)面上會在生長的薄膜中產(chǎn)生缺陷;在旋轉(zhuǎn)磁控管中，整個靶面被一個在 20 到 600 RPM 之間旋轉(zhuǎn)的磁鐵組掃干凈。

Angstrom Sciences 提供一系列直徑為 4 英寸（100 毫米）至 16 英寸（406 毫米）的旋轉(zhuǎn)磁控管，并采用可調(diào)節(jié)磁體配置設(shè)計，可實現(xiàn)工藝優(yōu)化和均勻性增強(qiáng)。我們的磁控管可以安裝在內(nèi)部或外部配置中。