美國Angstrom Sciences,磁控濺射,ONYX? 磁控管,圓磁控管,Circular Magnetron
Angstrom Sciences 的圓形磁控管已成為濺射行業的公認標準，因為 Angstrom Advantage™ 和許多其他設計特點在配置和工藝性能方面提供了幾乎無限的可能性。
多功能、緊湊的設計
其緊湊的設計使我們的圓形磁控管成為任何新應用或改造應用的理想選擇，包括用于最小真空室的最復雜的集群組件。
總功率兼容性
低阻抗磁頭提供 RF、DC、中頻 DC、脈沖 DC、HiPIMS 和微波電源兼容性。
標準配件
我們使用 ISO NW 標準配件以及 Conflat? 金屬密封法蘭。所有公用設施都保持在大氣中，并通過標準 O 形圈壓縮接頭進行訪問，以便輕松安裝在任何真空系統中。
全系列尺寸
圓形磁控管源的直徑為 1 英寸（25 毫米）至 16 英寸（406 毫米）和更大的目標，采用標準或定制配置。
快速、輕松地更改目標
我們的專利螺紋靶夾和小圓陰極上的陽極屏蔽層允許您在不使用輔助工具的情況下更換靶標。其內置的可調節性還允許您安裝不同厚度的目標，而無需使用任何間隔裝置。
下限、壓力、高功率
ONYX? 磁控管可以在極低的壓力下運行（低至 10-4 Torr 范圍），我們的直接冷卻設計可提供高達 250 瓦/英寸（30 瓦/cm2）的功率密度連續運行。
高速率和高性能
憑借更高的功率密度，您可以更快地涂覆基材。因此，Angstrom Sciences 可以最大限度地提高您的包衣區域和目標利用率（通常在 40% 范圍內），而無需權衡速率。
更高的均勻性
得益于我們獲得專利的異形磁體，我們的磁控管還可以提供更高的沉積均勻性 – 通常在 1-3% 的±范圍內。
低污染
由于磁場分布在整個靶面上，因此可以最大限度地減少顆粒污染和再沉積的缺陷。
全面承諾
所有 Angstrom Sciences 的磁控管均享有整整兩年的工藝和材料質量保證。磁控管是我們的核心業務，我們隨時準備確保您滿意。
