美國Angstrom Sciences,ONYX? 磁控管,圓磁控管,UHV 濺射
Angstrom Sciences， Inc. 成立于 1988 年，為高質(zhì)量薄膜的等離子體氣相沉積提供先進的磁控管和精制材料。該公司非常注重研發(fā)，很快就為磁性、水冷和圓形磁控管目標夾緊設計方面的多項技術進步申請了專利。Angstrom Advantage™ 的特點創(chuàng)造了薄膜行業(yè)中最先進、最易于使用的磁控管。
UHV 濺射
Angstrom Sciences 提供全系列的 UHV 磁控管設計，包括我們的“ONYX-UHV”，它具有全金屬密封件、陶瓷絕緣體和可拆卸磁陣列。全焊接結構允許在 450oC 下烘烤。“ONYX-UHV”圓形靶材直徑為 1 英寸（25 毫米）至 16 英寸（400 毫米），與標準 ONYX 高真空陰極中的所有附件、磁鐵組和功能兼容。ONYX-UHV 線性陰極還提供定制目標尺寸，以滿足任何應用要求。還提供“ONYX-HT”（標準 ONYX 陰極的高溫變體，帶有全陶瓷絕緣體，用于高溫運行，提供“接近”-UHV 性能）。
- 描述
這些磁控管與 DC、RF、脈沖 DC 和 HiPIMS 電源兼容。還提供全系列選項，包括插入長度、擋板、氣體入口和交叉污染防護罩。
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