Angstrom Sciences 為幾乎所有標(biāo)準(zhǔn)濺射工藝提供最先進(jìn)的磁控管。但我們知道每個應(yīng)用程序都是不同的。因此，我們開發(fā)了一種獨特的模塊化方法，專門適應(yīng)您的規(guī)格。

長期以來，圓柱形磁控管在玻璃鍍膜行業(yè)一直備受信賴，可在最大限度提高靶材利用率的同時形成均勻的薄膜。現(xiàn)在，Angstrom Sciences 創(chuàng)造了一種緊湊、輕便且經(jīng)濟(jì)的圓柱形磁控管，專門設(shè)計用于平板顯示器、太陽能電池和卷筒紙涂層應(yīng)用。

定制設(shè)計

使用 3 英寸（75 毫米）或 5 英寸（125 毫米）直徑的背管，長度可達(dá) 4 米，具有最小的源到源間距，可提供多個在線陣列，適用于緊湊的高吞吐量生產(chǎn)系統(tǒng)。

經(jīng)濟(jì)且完全兼容的投資

ONYX-Revolution™ 采用通用且經(jīng)濟(jì)高效的磁體設(shè)計，具有定制的周轉(zhuǎn)功能，以適應(yīng)任何目標(biāo)類型。而且，它采用現(xiàn)成的組件設(shè)計，可實現(xiàn)低成本、長期投資和可靠性。

專利技術(shù)

Angstrom Sciences 的專利異形磁體技術(shù)在源和襯底之間創(chuàng)造了更接近正常的沉積輪廓。改進(jìn)的沉積輪廓減少了腔室壁上的碎屑堆積。

此外，Angstrom Sciences 的磁體陣列提供更高的磁場強(qiáng)度，允許用戶以較低的功率運行濺射工藝，以實現(xiàn)典型的沉積速率。

換算的儲蓄

從本質(zhì)上講，圓柱形磁控管可以容納高達(dá)三倍于具有相同空間面積的平面磁控管的目標(biāo)材料。Angstrom Sciences 的 ONYX-Revolution™ 進(jìn)一步優(yōu)化了材料投資，目標(biāo)利用率高達(dá) 85%。此外，在較低功率水平下運行可節(jié)省 20% 的典型功耗。

全面承諾

Angstrom Sciences 致力于通過提供世界上最先進(jìn)的磁控管、高質(zhì)量的沉積材料和全面的技術(shù)支持，幫助我們的客戶開發(fā)最具生產(chǎn)力和成本效益的薄膜應(yīng)用。我們隨時準(zhǔn)備確保您滿意。