美國Angstrom Sciences圓形磁控管

美國Angstrom Sciences圓形磁控管

Angstrom Sciences 的環形磁控管已被公認為濺射行業的標準,這是因為 Angstrom Advantage™ 和大量其他設計特性為配置和工藝性能提供了幾乎無限的可能性。

總功率兼容性

低阻抗磁頭提供 RF、DC、中頻 DC、脈沖 DC、HiPIMS 和微波電源兼容性

標準配件

我們使用 ISO NW 標準配件以及 Conflat? 金屬密封法蘭。所有公用設施都保持在大氣中,并通過標準 O 形圈壓縮接頭進行訪問,以便輕松安裝在任何真空系統中。

全系列尺寸

圓形磁控管源的直徑為 1 英寸(25 毫米)至 16 英寸(406 毫米)和更大的目標,采用標準或定制配置。

快速、輕松地更改目標

我們的專利螺紋靶夾和小圓陰極上的陽極屏蔽層允許您在不使用輔助工具的情況下更換靶標。其內置的可調節性還允許您安裝不同厚度的目標,而無需使用任何間隔裝置。

高速率和高性能

憑借更高的功率密度,您可以更快地涂覆基材。因此,Angstrom Sciences 可以最大限度地提高您的包衣區域和目標利用率(通常在 40% 范圍內),而無需權衡速率。


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