Angstrom Sciences Circular Magnetron 圓形磁控管

Angstrom Sciences 的圓形磁控管已被公認(rèn)為濺射行業(yè)的新標(biāo)準(zhǔn)，因?yàn)槌?Angstrom Advantage™ 的先進(jìn)功能之外，它們還提供了許多其他性能優(yōu)勢(shì)。

多功能、緊湊的設(shè)計(jì)

其緊湊的設(shè)計(jì)使我們的圓形磁控管非常適合任何新的或改造應(yīng)用，包括用于最小真空室的最復(fù)雜的集群組件。

總功率兼容性

低阻抗頭提供射頻、直流、中頻直流、脈沖直流和微波功率兼容性。

標(biāo)準(zhǔn)接頭

我們使用 ISO NW 標(biāo)準(zhǔn)接頭以及 Conflat? 金屬密封法蘭。所有公用設(shè)施都保持在大氣中，并通過(guò)標(biāo)準(zhǔn) O 形環(huán)壓縮配件進(jìn)行訪(fǎng)問(wèn)，以便在任何真空系統(tǒng)中輕松安裝。

各種尺寸

圓形磁控管源可提供標(biāo)準(zhǔn)或定制配置的 1″ (25mm) 至 16″ (406mm) 目標(biāo)直徑。

快速、輕松的目標(biāo)更改

我們獲得專(zhuān)利的螺紋目標(biāo)夾和陽(yáng)極護(hù)罩允許您在不使用輔助工具的情況下更換目標(biāo)。它們內(nèi)置的可調(diào)節(jié)性還可以讓您適應(yīng)不同厚度的目標(biāo)，而無(wú)需借助間隔裝置。

更低、壓力、高功率

ONYX? 磁控管可以在極低的壓力下運(yùn)行（低至 10-4 Torr 范圍），我們的直接冷卻設(shè)計(jì)可以提供高達(dá) 250 瓦/英寸（30 瓦/平方厘米）的功率密度。

高速率和高性能

使用更高的功率密度，您可以更快地涂覆基材。因此，Angstrom Sciences 可以最大限度地提高您的涂層區(qū)域和目標(biāo)利用率（通常在 40% 范圍內(nèi)），而無(wú)需權(quán)衡速率。

更大的一致性

由于我們獲得專(zhuān)利的異形磁鐵，我們的磁控管還可以提供更高的沉積均勻性 – 通常在 ± 3-5% 范圍內(nèi)。