碳化鉭(Tantalum Carbide,化學式為TaC)是一種由鉭和碳組成的化合物。碳化鉭涂層是一種極其堅硬的耐火陶瓷材料,具有金屬電導性。碳化鉭的熔點取決于其純度,最高可達到約3880°C,是二元化合物中熔點最高的之一。這使得它成為在高溫需求超出CVD硅化碳涂層石墨性能能力時的一個有吸引力的替代品。
碳化鉭涂層能夠在非常高的溫度下抵抗腐蝕性液體和氣體的化學攻擊。它們在密封和保護石墨硬件免受熱氨、氫氣、鹽酸和用于化合物半導體外延工藝(如MOCVD和LPE)的熔融金屬的侵蝕方面越來越受到認可。碳化鉭涂層的以下特性提供了長壽命和低顆粒生成。
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優勢
- 出色的耐磨和耐磨損性能
- 出色的耐腐蝕、氧化和侵蝕性能
- 超純石墨基材 99.9995%
- 尺寸穩定性
- 耐熱震性能
- 非多孔
- 優越的平整度能力
- 均勻性
- 保護性
- 電導性能
- 適用于復雜幾何形狀
關于貝碳公司(Bay Carbon, Inc.)
貝碳公司是一家領先的獨立硅化碳涂層石墨、高純度精密加工石墨制造商,專注于半導體制造的硅、太陽能硅、CMOS和MOCVD領域。我們提供一整套用于工業和學術界的高純度實驗室石墨和石墨粉產品。