CRYSTAL GmbH 襯底 晶片
標準尺寸或定制
精確的表面和精確的方向
晶體的各向異性使其在研究和開發中有著廣泛的應用。CRYSTAL為薄膜應用提供基材，作為目標或為個人應用量身定制，價格公道，質量最高。
襯底/晶片屬性
方向:
- (100), (001), (111), (110) 對于立方和四方晶體
- (0001), (1102), (1120), (1010) 對于六邊形晶體
其他米勒指數值較高的取向或鄰近襯底
定位精度:±0.5°，典型< 0.3°，或更高的要求
襯底/晶片典型尺寸
- 5 mm x 5 mm, 10 mm x 10 mm, 10 mm x 5 mm, 15 mm x 15 mm
- 12,7 mm x 12,7 mm, 20 mm x 20 mm, 25 mm x 25 mm, ?1″, ?2″
側向公差: +0/-0.05 mm
襯底/晶片標準厚度
- 0.5 mm, 1.0 mm, 其他厚度可根據要求降至0.1毫米
垂直公差:+/- 0.05 mm，或更高要求
襯底/晶片拋光:
- 表面拋光的一面或兩面
- 表面質量:放大50倍無劃痕
- 顯微粗糙度(用干涉儀顯微鏡測量)
- (橫向分辨率:0.64μm，縱向分辨率:理論0.01nm)
- 粗糙度: ( λcut?off =0.08 mm)
? ? ? ? ? Ra: < 0.5 nm
? ? ? ? ? Rq?: < 1.0 nm
? ? ? ? ? Rt?: < 2.0 nm
- 每批都有粗糙度證書
- 根據要求對側面(圓柱體)進行光學拋光。
襯底的應用
找到按性質和應用分類的襯底。
超導薄膜的制備
| 化學式 | 化學名稱 | 非科學-/ 礦物名稱 | |
|---|---|---|---|
| Al2O3 | Aluminium oxide | Sapphire | |
| CaF2 | Calcium fluoride | Fluorspar | |
| LaAlO3 | Lanthan aluminate | LAL | |
| (La,Sr)(Al,Ta)O3 | Lanthanum strontium aluminium tantalate | LSAT | |
| MgAl2O4 | Magnesium aluminate | Spinel | |
| MgO | Magnesium oxide | Periclase | |
| SrTiO3 | Strontium titanate | Fabulite, Tausonite | |
| SrTiO3:Nb | Niob doped Strontium titanate | – | |
| TiO2 | Titanium dioxide | Rutile | |
| Y3Al5O12 | Yttrium Aluminium Garnet | YAG | |
| YAlO3 | Yttrium Aluminium Perowskite | YAP | |
| ZrO2:Y | Yttrium stabilised Zirkonium dioxide | YSZ |
III-V型氮化物半導體薄膜的制備
| 化學式 | 化學名稱 | 非科學-/ 礦物名稱 | |
|---|---|---|---|
| Al2O3 | Aluminium oxide | Sapphire | |
| LiAlO2 | Lithium aluminate | – | |
| MgAl2O4 | Magnesium aluminate | Spinel | |
| MgO | Magnesium oxide | Periclase | |
| Si | Silicon | – | |
| SiC | Silicon carbide | – |
襯底為II-VI化合物半導體/半導體
化學式
| 化學名稱 | 非科學-/ 礦物名稱 | ||
|---|---|---|---|
| BaTiO3 | Barium titanate | BTO | |
| CdS | Cadmium sulfide | Greenockite | |
| CdSe | Cadmium selenide | Cadmoselite | |
| CdTe | Cadmium telluride | – | |
| Ge | Germanium | – | |
| Si | Silicon | – | |
| ZnO | Zinc oxide | Zincite | |
| ZnS | Zinc sulfide | – | |
| ZnSe | Zinc selenide | – | |
| ZnTe | Zinc telluride | – |
壓電/鐵電基板
壓電的
| 化學式 | 化學名稱 | 非科學-/ 礦物名稱 | |
|---|---|---|---|
| (1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3) – xPbTiO3 | Lead magnesium niobate – lead titanate | PMN-PT | |
| α-SiO2 | Silicon dioxide, single crystalline | Alpha-quartz |
鐵電的
| 化學式 | 化學名稱 | 非科學-/ 礦物名稱 | |
|---|---|---|---|
| BaTiO3 | Barium titanate | BTO | |
| LiNbO3 | Lithium niobate | LN | |
| LiTaO3 | Lithium tantalate | LT |
閃爍體
| 化學式 | 化學名稱 | 非科學-/ 礦物名稱 | |
|---|---|---|---|
| YAlO3:Ce | Cerium doped Yttrium Aluminium Perowskite | YAP:Ce |
非晶基板
| 化學式 | 化學名稱 | 非科學-/ 礦物名稱 | |
|---|---|---|---|
| Al2O3 | Aluminium oxide ceramic | Sapphire ceramic | |
| SiO2 | Silicon dioxide | Amorphous Quartz glass |
雙折射襯底
| 化學式 | 化學名稱 | 非科學-/ 礦物名稱 | |
|---|---|---|---|
| Al2O3 | Aluminium oxide | Sapphire | |
| LiNbO3 | Lithium niobate | LN | |
| MgF2 | Magnesium fluoride | Sellaite | |
| α-SiO2 | Silicon dioxide, single crystalline | Alpha-quartz | |
| TiO2 | Titanium dioxide | Rutile | |
| YVO4 | Yttrium Orthovanadate | YVO |
