DOVER MOTION,ZE™精密垂直升降平臺,用于晶圓檢測、掃描和探針測試,能夠實現極其直線、平穩且重復性優異的垂直移動。該系列提供多種行程選項，從 0.5 英寸到 1.5 英寸（約 12.5 至 38 毫米），并采用低高度設計以節省設備空間。
精密垂直升降平臺 – ZE™
直線、平穩且可重復的運動表現
產品概述
Dover Motion 的 ZE™ 精密垂直升降平臺提供了一種結構緊湊且高精度的垂直運動解決方案。該平臺專為晶圓檢測、掃描和探針測試等高要求應用而設計，能夠實現極其直線、平穩且重復性優異的垂直移動。該系列提供多種行程選項，從 0.5 英寸到 1.5 英寸（約 12.5 至 38 毫米），并采用低高度設計以節省設備空間。
技術規格
| 參數 | ZE-05 | ZE-10 | ZE-15 |
|---|---|---|---|
| 行程（mm） | 12.5 | 25 | 38 |
| 行程（英寸） | 0.5 | 1.0 | 1.5 |
| 定位精度（±μm）*1 | 38 | 76 | 114 |
| 雙向重復精度（±μm） | 1.5 | 1.5 | 1.5 |
| 負載能力（kg）*2 | 12.5 | 12.5 | 12.5 |
| 平整度與直線度（μm TIR） | 5 | 10 | 15 |
| 總質量（kg） | 7.4 | 9.1 | 13.1 |
*1 步進電機為開環控制，如需更高精度可通過編碼器反饋或補償方式實現。
*2 若負載超過此范圍，請咨詢應用工程師。
產品描述
ZE™ 升降平臺采用精密的非循環導軌，位于平臺四個角，確保在全行程范圍內俯仰角誤差小于 15 角秒。0.5 英寸與 1 英寸行程版本具有極低的收縮高度，有效減小整機體積。8 英寸的方形安裝板可將負載與升力對齊，避免負載懸臂安裝，從而提升平臺穩定性。
該平臺采用 NEMA 23 規格的電機（可選步進或伺服），通過絲桿驅動沿楔形結構運行的滾輪，并配有防反沖摩擦螺母，可實現高分辨率定位與出色的重復性。每個平臺標配高精度霍爾效應限位開關，并通過可靠的 D-sub 鎖緊連接器引出。
關鍵設計特點：
低外形設計，無需負載懸臂
出色的直線度和平穩性
防反沖摩擦螺母，確保重復定位精度
可選配置
電機選項：步進電機或伺服電機
反饋選項：旋轉編碼器
典型應用
ZE™ 平臺非常適用于以下場景：
晶圓檢測
精密掃描
探針測試（如半導體探針臺)
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