最高溫度： 150°C。
最低溫度：比環境溫度高 5°C。
穩定時間： 10 分鐘內從環境溫度升至 60°C。
溫度穩定性： ±1.0 攝氏度，或 10 分鐘內更好。時期）
溫度重復性： ±0.5 攝氏度，或更好的前面板設置。
真空能力：60 millitorrs in 6 min
最大 N2 入口壓力： 8 psi
尺寸（深x寬x高）：
工作站：47 厘米 x 24.4 厘米 x 24.8 厘米（18.5 英寸 x 9.5 英寸 x 9.75 英寸）。
冷阱：18.4 厘米 x 18.4 厘米 x 33 厘米（4.25 英寸 x 7.25 英寸 x 13 英寸）。
