靜電卡盤能夠通過靜電力將多個芯片以及部分晶片夾緊到晶片夾具上。
這種設備對R&D的研究機構非常有用，因為在那里并不總是能夠加工完整的晶片。芯片的靜電夾持允許在HF蒸汽釋放之前執(zhí)行MEMS晶片的苛刻切割工藝。通過修改經(jīng)典的制造順序，制造具有極軟懸架的MEMS器件成為可能。
靜電吸盤的使用非常簡單。芯片被放置在晶片支架上，電力由控制箱上的開關打開。靜電力是可以調節(jié)的。
靜電卡盤既可以用于整個晶片的夾持，也可以用于單個芯片的靜電夾持。
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