瑞士idonus 紅外晶圓檢測顯微鏡（IR-M）

硅晶圓是集成電路（IC）和微機電系統（MEMS）制造中使用的重要組件。能夠在紅外（IR）范圍內透視這種半導體材料，對于制造過程的質量控制非常有利。

idonus紅外晶圓檢測顯微鏡（IR-M）配備了長工作距離物鏡。三檔變焦功能允許用戶選擇合適的視場和放大倍率。紅外敏感攝像頭通過USB 3.0通信將被檢測樣品的圖像顯示在計算機上。使用5倍物鏡時，分辨率優于3微米。

此外，還提供頂部照明功能。這使得顯微鏡可以在常規模式下使用，并檢查晶圓的頂部。紅外顯微鏡配有一個xy工作臺，可容納直徑200毫米（8英寸）或更小的晶圓。可選地，xy工作臺可以配備電機驅動，以便通過圖形用戶界面（GUI）和/或操縱桿方便地控制。

應用領域

idonus IR-M在半導體和MEMS器件檢測中有多種應用，例如：

• 通過透射成像觀察硅晶圓（例如，微結構晶圓）
• 檢查太陽能電池的功率效率

以下圖像是使用IR-M成像顯微鏡拍攝的。它們顯示了微結構的硅絕緣體上硅（SOI）晶圓。第一張圖像是使用頂部照明（可見光譜）拍攝的傳統顯微鏡圖像。第二張圖像是在紅外光照（IR透射模式）下拍攝的，展示了基層與器件層之間的埋藏二氧化硅（SiO2）。

關于idonus

idonus sàrl公司于2004年由瑞士納沙泰爾大學微工程研究所（IMT）成立為一家初創公司（現為瑞士洛桑聯邦理工學院IEM電氣與微工程研究所的一部分）。

idonus專注于為MEMS和制表行業開發和制造特殊設備。

公司位于瑞士鐘表谷的核心地帶，在這里，精密微加工與不斷增長的微技術和納米技術企業集群相融合。其總部位于瑞士納沙泰爾的Hauterive的Innoparc。

產品與解決方案

產品 — 我們的產品組合包括用于光刻的UV-LED曝光系統（UV-EXP）、用于晶圓檢測的紅外顯微鏡（IR-M），以及用于硅基器件的氣相化學蝕刻儀（VPE）。自2016年以來，我們還提供用于材料表面處理的離子注入服務和設備。

解決方案 — idonus的優勢之一在于能夠根據每位客戶的需求定制其產品。公司的垂直整合使快速原型設計成為可能，從而為客戶帶來較短的交貨周期。