瑞士IDONUS 靜電夾具 E-chucks

靜電夾具能夠通過靜電力將多個芯片以及晶圓的部分夾緊到晶圓支架上。

該設(shè)備對研發(fā)機構(gòu)非常有用，因為在某些情況下無法對完整的晶圓進(jìn)行操作。芯片的靜電夾緊允許在HF蒸汽釋放之前進(jìn)行MEMS晶圓的粗切割。通過修改傳統(tǒng)的制造流程，可以生產(chǎn)具有極軟懸掛的MEMS器件。

使用靜電夾具非常簡單。將芯片放置在晶圓支架上，然后通過控制箱上的開關(guān)打開電力。靜電力可以進(jìn)行調(diào)節(jié)。

關(guān)于idonus

idonus sàrl公司于2004年由瑞士納沙泰爾大學(xué)微工程研究所（IMT）成立為一家初創(chuàng)公司（現(xiàn)為瑞士洛桑聯(lián)邦理工學(xué)院IEM電氣與微工程研究所的一部分）。

idonus專注于為MEMS和制表行業(yè)開發(fā)和制造特殊設(shè)備。

公司位于瑞士鐘表谷的核心地帶，在這里，精密微加工與不斷增長的微技術(shù)和納米技術(shù)企業(yè)集群相融合。其總部位于瑞士納沙泰爾的Hauterive的Innoparc。

產(chǎn)品與解決方案

產(chǎn)品 — 我們的產(chǎn)品組合包括用于光刻的UV-LED曝光系統(tǒng)（UV-EXP）、用于晶圓檢測的紅外顯微鏡（IR-M），以及用于硅基器件的氣相化學(xué)蝕刻儀（VPE）。自2016年以來，我們還提供用于材料表面處理的離子注入服務(wù)和設(shè)備。

解決方案 — idonus的優(yōu)勢之一在于能夠根據(jù)每位客戶的需求定制其產(chǎn)品。公司的垂直整合使快速原型設(shè)計成為可能，從而為客戶帶來較短的交貨周期。