瑞士idonus UV-LED光刻曝光系統(tǒng) UV-EXP系列
通過(guò)UV-EXP系列，idonus提供了一種基于高功率LED和高級(jí)均化光學(xué)技術(shù)的創(chuàng)新UV照明系統(tǒng)。該產(chǎn)品線適用于光刻膠曝光（UV-LED光刻和固化），并適用于MEMS、微流體學(xué)、光子學(xué)、半導(dǎo)體和光伏應(yīng)用中使用的各種基材和光刻膠。我們的標(biāo)準(zhǔn)UV照明產(chǎn)品系列滿足了寬度可達(dá)300毫米（11.8英寸）的掩膜和晶圓的光刻需求。
UV-LED曝光的優(yōu)點(diǎn)
- 穩(wěn)定的照明，無(wú)需每日校準(zhǔn)
- 即開(kāi)即用，光源僅在曝光期間開(kāi)啟，無(wú)需機(jī)械快門(mén)
- 壽命長(zhǎng)，不再需要更換耗材
- 窄光譜：不會(huì)導(dǎo)致基材不必要的加熱，工藝更加可重復(fù)
- 低功耗
- 無(wú)維護(hù)成本
idonus UV-LED曝光系統(tǒng)
idonus推出了一整套UV-LED曝光產(chǎn)品。我們的系統(tǒng)結(jié)合了市場(chǎng)上最有效的UV-LED與高等級(jí)微透鏡陣列，全部在內(nèi)部完成組裝和控制。我們的設(shè)計(jì)采用了完全遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，在整個(gè)曝光區(qū)域內(nèi)提供可重復(fù)和均勻的照明條件，即高度均勻且穩(wěn)定的強(qiáng)度，并具有極小的發(fā)散角。這種先進(jìn)的光學(xué)系統(tǒng)確保了整個(gè)基材的完美均勻曝光，生成具有直側(cè)壁的固化光刻膠，并實(shí)現(xiàn)了具有微米級(jí)關(guān)鍵尺寸的圖形精確微結(jié)構(gòu)化。
idonus UV-EXP的性能
UV-LED曝光系統(tǒng)提供多種標(biāo)準(zhǔn)配置，并可以通過(guò)多種選項(xiàng)和變體（如單一或混合波長(zhǎng)）進(jìn)行定制。作為特殊設(shè)備的制造商，idonus還可以根據(jù)客戶的規(guī)格要求開(kāi)發(fā)完全定制的設(shè)備（例如，不同的曝光區(qū)域、適配的設(shè)備外殼）。我們的產(chǎn)品主要特點(diǎn)見(jiàn)“標(biāo)準(zhǔn)UV-LED曝光系統(tǒng)”表格。
idonus標(biāo)準(zhǔn)UV-LED曝光系統(tǒng)
| 型號(hào) | 波長(zhǎng) | 有效曝光區(qū) | 輻照度 Ee | 非均勻性 C * | αFWHM | WD ** | 外部尺寸，mm3 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| UV-LAB100R | 365 nm | ? 100 mm | — | 5% | ±2° | 250 mm | 250x300x670 |
| UV-EXP150R | 365 和/或 385 / 395 / 405 / 435 nm | ? 150 mm | 50 mW/cm2 | 3% | ±1.8° | 350 mm | 1000x480x330 |
| UV-EXP150S | 365 和/或 385 / 395 / 405 / 435 nm | 150×150 mm2 | 50 mW/cm2 | 3% | ±1.8° | 300 mm | 960x500x420 |
| UV-EXP200R | 365 和/或 385 / 395 / 405 / 435 nm | ? 200 mm | 30 mW/cm2 | 3% | ±1.4° | 400 mm | 1170x570x530 |
| UV-EXP200S | 365 和/或 385 / 395 / 405 / 435 nm | 200×200 mm2 | 30 mW/cm2 | 3% | ±1.4° | 400 mm | 1170x570x530 |
| UV-EXP300S-1LE | 365 和/或 385 / 395 / 405 / 435 nm | 300×300 mm2 | 17 mW/cm2 | 3% | ±1.0° | 300 mm | 1270x715x700 |
| UV-EXP300S-3LE | 365 和/或 385 / 395 / 405 / 435 nm | 300×300 mm2 | 50 mW/cm2（3 個(gè)LED） | 3% | ±1.0° | 300 mm | 1270x715x700 |
| UV-EXP600S | 365 和/或 385 / 395 / 405 / 435 nm | 600×600 mm2 | 30 mW/cm2（多個(gè)LED） | 3% | ±2.0° | 300 mm | ? ? ? ? ? ? ?*** |
*非均勻性 (C)：光強(qiáng)度分布的最大偏差百分比。 **WD：工作距離。
