應用
Idonus 提供一系列模塊化數字顯微鏡，適用于微機械零件和微米級特征的觀察。基本系統是單影像顯微鏡（SIM），采用反射光照明。當成對使用并安裝在可調支架上時，它提供了雙影像顯微鏡（DIM），用于平面對準操作期間的屏幕可視化（例如，與我們的陰影掩模對準儀（SMA）結合使用時）。
我們性價比高的數字顯微鏡的主要用途是用于潔凈室中的紫外光光刻。在紫外曝光之前，需要將基板與掩模精確對準，這一過程可以使用我們的數字顯微鏡完成。因此，我們的產品設計允許將大型輔助設備放置在顯微鏡下方。例如，許多客戶將雙影像顯微鏡（DIM）作為實驗室設備，用于精細平面對準操作時的屏幕可視化。典型應用如圖1所示，其中DIM與我們的陰影掩模對準儀（SMA）結合使用。
工作原理
我們的數字顯微鏡系列集成了反射光學系統，也稱為頂光照明（或 epi-illumination）。這種照明方式適用于觀察各種材料，并能滿足微系統檢查的大多數需求。
科勒照明 – 照明質量是光學顯微鏡中的一個重要標準，尤其對于定量數字成像而言至關重要。我們集成了一個 LED 照明系統，利用科勒照明技術提供均勻的照明。通過這種光學照明，光源被完全去焦，且在最終圖像中不可見（參見圖2）。這確保了高質量的成像，并且所記錄的圖像可以用于后期處理（例如機器視覺）。
綠光LED – 綠光照明作為標準配置，因為其波長（約550 nm）適用于紫外光應用。當然，其他波長也是可能的，特別是紅外照明和紅外敏感相機可根據要求提供。需要注意的是，Idonus 還提供一款專用于硅基晶圓中掩埋硅氧化物（SiO2）檢查的紅外顯微鏡。
產品范圍
我們的單影像顯微鏡（SIM）和雙影像顯微鏡（DIM）都由一個管狀光學模塊組成，其原理如圖1所示。我們的SIM系列數字顯微鏡的組成部分包括：
- SIM光學組件
- ×1 帶集成均勻綠光LED照明的管狀光學系統
- ×1 固定放大倍率的物鏡（對于“無限修正”版本，聚焦由旋鈕調節/對于共軸光學不需要聚焦）
- ×1 USB連接的數字相機
- LED光源的電源和控制單元
- 帶平面安裝底座的主機
- 精細螺絲調節高度（Z方向）
- 精細螺絲調節X和Y位置
- 用于數字圖像實時屏幕可視化的軟件
在我們的DIM系列中也有相同的組成部分，但在這種情況下，使用兩個管狀顯微鏡而非一個。在DIM顯微鏡中，兩個相機連接到計算機，并提供兩個不同區域的圖像，以便對基板進行檢查。
圖3展示了幾種可能的配置。為了滿足客戶的需求，我們的模塊化系統還可以提供許多其他配置。例如，作為DIM系統的替代方案，用戶可以選擇將SIM顯微鏡安裝在帶有止動器的滑軌上。
