設計特點：

• 兩個質量流量控制器 （MFC） – 快速響應
• MF 典型流量范圍 ： 1 或 2 L/min
• HF 流量范圍：1、2、5、10、20 或 40 L/min
• 飽和溫度高達 90 °C，適用于擴展溫度型號
• 一個或兩個數字相對濕度探頭（相對濕度和溫度數據）
• 外部溫度探頭（基于RTD）
• HumiSys MF具有基于帕爾帖的冷卻系統
• 通過外部水浴進行 HF 冷卻的可選硬件
• 用于真空和加壓操作的定制型號
• 自動供水系統
• 加熱輸送軟管
• 精密壓力調節器和壓力表
• 開放式設計，便于與其他設備連接
• 多種相對濕度控制模式，適用于不同配置的傳感器
• 自動/手動操作
• 用于數據傳輸的 USB 或串行端口
• 基于 Windows 的實驗設計和控制軟件（該軟件與任何 32 位或 64 位 Windows? 系統兼容）

HumiSys HF RH發生器采用分流（split-flow）技術，并利用兩個質量流量控制器實現快速響應。
在主要操作模式下，一個 RH 探頭用于 RH 控制，通常放置在用戶室內。
第二個（可選）RH探頭可以放置在任何用戶定義的位置，以驗證RH和溫度均勻性。
如果常規RH探頭無法安裝在用戶室內，則可以使用微型RH探頭，或者可以通過外部溫度探頭（基于RTD）來監測用戶室的溫度。