kimball physics EGA-1012/EGPS-1012電子槍

kimball physics EGA-1012/EGPS-1012電子槍描述

高電流中等直徑低能量電子束

5 eV至1000 eV

應用:

  • 表面物理研究
  • 真空物理實驗
  • 電荷中和
  • 電子解吸
  • 表面擦洗
  • 磷光體測試
  • 電離實驗
  • 半導體加工

特性/選項:

  • 高達2mA的電子束電流
  • 反饋穩定發射電流
  • 用戶可更換的點火裝置
  • UHV兼容/可烘烤
  • 電腦/遙控器
  • 光束脈沖選項

能量范圍:5 eV至1k eV
電子束電流:1 μA至2 mA
斑點尺寸:10毫米至25毫米(無聚焦能力)
安裝:2.75英寸CF
特性/選項:泛光光束,脈沖,雙柵極

金博物理EGA-1012電子槍,及其匹配的EGPS-1012電源,旨在用于各種超高真空(UHV)物理實驗,表面物理和處理應用,在低能量下需要高束流。它是一個完整的子系統,可以隨時連接和啟動。束能量、束電流和束發散度都是獨立可調的。EGA-1012電子槍使用空間電荷限制氧化物涂層陰極來產生均勻的泛光電子束。這種設計允許產生低能量和非常低電流的束。

UHV技術貫穿始終。拆除電纜后,電子槍可烘烤至350°C。使用法拉第杯時,最大值為65oc除非移除。

標準陰極是高電流、堅固的氧化釔涂層圓盤(Y2O3).冷時,陰極不會因反復暴露在大氣或水蒸氣中而受損。這種槍可以在真空中從10-11托至10托-5托。陰極壽命是真空條件和與陰極溫度相關的束電流的函數。在良好的真空中,低電流下的陰極壽命可達數百小時,甚至超過一千小時。


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