kimball physics EGH-6002/EGPS-6002電子槍描述
可聚焦的小光點尺寸高能電子束
1千電子伏至50千電子伏
應用:
- 普通真空物理學
- 輻射研究
- 表面轟擊
- 半導體研究
- 生物樣本輻照
- x射線產生
- 等離子體激發
- 熒光研究
- 表面物理研究
特性/選項:
- 中等束流
- 小斑點尺寸
- 靜磁聚焦
- 靜磁偏轉
- 磁透鏡
- 脈沖能力
- 操作時的內部校準
- 用戶可更換的點火裝置
- 5英寸或6.0英寸CF安裝
- UHV科技/烘焙
- 電腦/遙控器
能量范圍:1千電子伏至50千電子伏
電子束電流:10 nA至100 A
斑點尺寸:0.5毫米至100毫米
安裝:4.5英寸CF或6.0英寸CF
金博爾EGH-6002電子槍及其配套的EGPS-6002電源是一個完整的子系統，可以連接到用戶的真空系統并打開。它可以在非常寬的能量、電流和功率范圍內輸送電子。EGH-6002可用于從半導體研究到二次電子發射研究的許多不同應用。
電子槍可以產生高能量、可聚焦的小光點電子束。射束能量和射束電流都可以在很寬的范圍內獨立調節；標準能量范圍為1 keV至50 keV，電流范圍為10nA至100μA。電子束可以由控制柵極的輸入信號脈沖產生。
槍的可調光學系統可以適應不同的發散度和不同的工作距離。斑點的大小可以在0.5毫米到10厘米之間變化。磁聚焦透鏡和磁性定心偏轉提供低像差的束控制。此外，陰極到陽極的間距是內部可調的，以改變導流能力。
該槍具有可調節的陰極饋通組件，該組件允許點火單元相對于陽極和柱進行機械對準。當槍在滿電壓下操作且射束打開時，這種對準可以實時完成。發射單元彈藥筒(包括陰極、陰極座和Wehnelt孔)是用戶可更換的，甚至不需要從真空室中取出槍。用過的點火裝置可以返回工廠重新組裝。
