kimball physics IGS-4/IGPS-2014離子槍系統、離子源

Kimball Physics離子槍系統離子源用于表面物理、空間物理、真空物理、電荷中和、檢測校準、二次離子質譜和MBE的離子注入。

性能

  • 能量范圍:10千電子伏到20千電子伏
  • 束流范圍:1 nA至2 μA
  • 斑點尺寸范圍:500微米到25毫米

功能

  • 靈活的控制器:獨立的光纖控制和功能計量,如離子能量、源、電子能量、場控制、提取、聚焦、X-Y偏轉和電子流控制。
  • 堿金屬離子源選擇允許不同的離子種類。
  • 束流穩定性:有發射電流控制時為每小時1.0%,預熱后為每小時10%,無堿金屬源ECC。
  • 能量穩定性:滿輸出時,每小時0.01%,每8小時0.02%。
  • 快速電容束或雙柵極脈沖
  • 偏轉/光柵掃描
  • 槍裝法拉第杯

描述

能量范圍:50電子伏至5千電子伏
電子束電流:1 nA至2 A
斑點尺寸:?<1 mm to 20 mm
工作距離:10毫米至200毫米


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