Kimball Physics 電子槍 離子槍 真空產品 電子槍系統 中等能量（最大 30 keV）中能電子槍系統 （<30 keV）

Kimball Physics?電子槍（束流）系統通常包括一個匹配的電源，以提供完整的子系統，該子系統可以連接到用戶的真空硬件并打開。

許多系統上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內獨立調節，并且可以使用可選的 Labview 進行控制^TM計算機接口。

我們的大多數系統在真空條件下都兼容 UHV（超高真空）高達 10^-11托。

根據系統的不同，可以使用各種陰極選項，包括：

1. 1. 氧化鋇盤（BaO，低光，低能量擴散，最小真空度 1×10^-7托爾）
   2. 釔涂層銥片 （Y₂O₃銥，堅固耐用，真空度高達 10^-4Torr，可能在短暫的真空損失中幸存下來）
   3. 鉭盤陰極
   4. 單晶六硼化鑭?（LaB₆， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10^-7托爾）

Kimball Physics 的產品已經發展成為范圍廣泛的電子束系統，我們將其武斷地描述為低能量（高達 5 keV）、中等能量（高達 30 keV）和高能量（高達 100 keV）系統。許多系統都是從定制項目中誕生的，這仍然是我們關注的很大一部分。

中型能量系統，能量范圍為 100 eV 至 30 keV，電流范圍為 1 nA 至 5 mA，光斑尺寸為 60 微米至 450 mm。

下表提供了電子槍系統規格以及每種中等能電子槍系統的典型應用和功能的比較。

中能電子槍系統 （<30 keV）