Kimball Physics 電子槍 離子槍 真空產(chǎn)品 電子槍系統(tǒng) 低能量的電子槍系統(tǒng)（最大 5 keV）

Kimball Physics 電子槍 離子槍 真空產(chǎn)品 電子槍系統(tǒng) 低能量的電子槍系統(tǒng)（最大 5 keV）

Kimball Physics?電子槍（束流）系統(tǒng)通常包括一個(gè)匹配的電源，以提供完整的子系統(tǒng)，該子系統(tǒng)可以連接到用戶的真空硬件并打開。

許多系統(tǒng)上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)，并且可以使用可選的 Labview 進(jìn)行控制TM計(jì)算機(jī)接口。

我們的大多數(shù)系統(tǒng)在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達(dá) 10-11托。

根據(jù)系統(tǒng)的不同，可以使用各種陰極選項(xiàng)，包括：

    1. 氧化鋇盤（BaO，低光，低能量擴(kuò)散，最小真空度 1×10-7托爾）
    2. 釔涂層銥片 （Y2O3銥，堅(jiān)固耐用，真空度高達(dá) 10-4Torr，可能在短暫的真空損失中幸存下來）
    3. 鉭盤陰極
    4. 單晶六硼化鑭?（LaB6， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10-7托爾）

Kimball Physics 的產(chǎn)品已經(jīng)發(fā)展成為范圍廣泛的電子束系統(tǒng)，我們將其武斷地描述為低能量（高達(dá) 5 keV）、中等能量（高達(dá) 30 keV）和高能量（高達(dá) 100 keV）系統(tǒng)。許多系統(tǒng)都是從定制項(xiàng)目中誕生的，這仍然是我們關(guān)注的很大一部分。

低能耗系統(tǒng)，能量范圍為 1 eV 至 5 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸為 0.5 mm 至 100 mm。

下表提供了電子槍系統(tǒng)規(guī)格以及每個(gè)低能電子槍系統(tǒng)的典型應(yīng)用和功能的比較。

低能電子槍系統(tǒng) （<5 keV）

 


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