Kimball Physics 電子槍 離子槍 真空產(chǎn)品 電子槍系統(tǒng) 低能量的電子槍系統(tǒng) 型號(hào) #： EFG-7 EGPS-1017

描述

聚焦或均勻的廣角低能電子束

10 eV 至 1500 eV

應(yīng)用：

• 表面物理研究
• 真空物理實(shí)驗(yàn)
• 電荷中和
• 電子解吸
• 表面清理
• 熒光粉測(cè)試
• 電離實(shí)驗(yàn)
• 半導(dǎo)體加工

功能/選項(xiàng)：

• 參數(shù)可控性廣
• 泛光光束或窄角光束
• 靜電聚焦
• 偏轉(zhuǎn)、光柵、脈沖
• 可拆卸噴槍
• 電腦 / 遙控器

能量范圍：10 eV 至 1500 eV
光束電流/光斑尺寸：1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：1mm 至 100mm
安裝：2.75 英寸（23/4 英寸）CF，可拆卸選項(xiàng)
特點(diǎn)/選項(xiàng)：窄角光束或泛光光束、靜電聚焦、偏轉(zhuǎn)、光柵、脈沖

Kimball Physics EFG-7 電子槍及其匹配的 EGPS-1017 電源旨在用于各種超高真空 （UHV） 物理實(shí)驗(yàn)、表面物理實(shí)驗(yàn)和加工應(yīng)用。它是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，隨時(shí)可以連接和打開。光束能量、光束電流和光斑尺寸可在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)。

EFG-7 電子槍使用難熔金屬陰極產(chǎn)生均勻的泛光光束。槍式設(shè)計(jì)允許產(chǎn)生低能量和極低電流的光束。標(biāo)準(zhǔn)型號(hào) EFG-7 可產(chǎn)生 1 nA 至 100 μA 的束流和 10 eV 至 1500 eV 的能量。高電流選項(xiàng)提供高達(dá) 1 mA 的光束電流。

居中、偏轉(zhuǎn)、光柵和脈沖均作為選項(xiàng)提供。由于該設(shè)計(jì)已優(yōu)化為泛洪槍，并使用圓柱形 4 極偏轉(zhuǎn)器，因此當(dāng)光束聚焦到一個(gè)小點(diǎn)時(shí)，偏轉(zhuǎn)像差可能會(huì)很嚴(yán)重。

全程采用 UHV 技術(shù)。該噴槍可以在 10 級(jí)真空中運(yùn)行^-11torr 最多 10^-5torr 用于標(biāo)準(zhǔn) Ta 盤陰極。電子槍可在去除電纜后烘烤至 350°C。使用法拉第杯時(shí)，最大值為 65^oC 除非被刪除。

其他信息：