Kimball Physics 電子槍 離子槍 真空產(chǎn)品 電子槍系統(tǒng) 型號(hào) #: FRA-2X1-2 EGPS-1011 采用廣角光束的緊湊設(shè)計(jì)
描述
來(lái)自致密源的廣角低能電子束
5 eV 至 1000 eV
應(yīng)用:
功能/選項(xiàng):
能量范圍:5 eV 至 1 keV
光束電流:1 nA 至 400 μA
光斑尺寸:20 mm 至 50 mm
安裝:2.75 英寸(23/4 英寸)CF 或未安裝
特性/選項(xiàng):泛光光束、可變安裝配置、脈沖
Kimball Physics FRA-2X1-2 電子槍及其匹配的 EGPS-101 電源旨在用于各種 UHV 表面物理、電荷中和和加工應(yīng)用。它是一個(gè)完整的子系統(tǒng),可以連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。
FRA-2X1-2 電子槍使用難熔金屬陰極產(chǎn)生均勻的泛光光束。陰極專為低能量擴(kuò)散而設(shè)計(jì)。槍式設(shè)計(jì)允許產(chǎn)生低能量和極低電流的光束。FRA-2X1-2 可以在低至 5 eV 的能量下產(chǎn)生適度的束流。它可以在 5 eV 時(shí)提供 50 μA 的最大光束電流,在 1000 eV 下提供 400 μA 的最大光束電流。
FRA-2X1-2 低能電子洪射槍采用平面三極管設(shè)計(jì)。加速網(wǎng)格增強(qiáng)了低能量下的束流。由于施加到柵極的正電位(相對(duì)于陰極為 0 至 +100 V),可能在此網(wǎng)格上產(chǎn)生的二次電子無(wú)法離開電子槍。