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Skip to contentLOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500特點:
→ 創(chuàng)新的一體化設計,無需外部控制器和連接線纜,同時保持即插即用兼容性。
→ 采用超低慣量無刷電機驅動,響應快速平穩(wěn)。
→ 先進的掃描電子元件可檢測透明、半透明及不透明物體,無需根據不同晶圓尺寸機械調整位置。
→ 運動控制軟件集成多種常用指令,兼容多種半導體平臺接口。
→ 典型對準周期低于4秒,助力實現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量。
LOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500晶圓預對準器尺寸:

LOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500晶圓預對準器規(guī)格:

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