Logosol,預對準器獨立式,LPA,獨立邊緣處理預對準器，適用于200mm晶圓,減小接觸的邊緣處理預對準器，適用于200mm晶圓,對準能力：標準200mm晶圓，200mm平晶圓，透明及半透明基板,接觸區：邊緣接觸，接觸寬度為1mm,減小接觸的邊緣處理預對準器能夠容忍更大的初始偏移量（最多可達6mm）。

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