Logosol,LPA26-3,獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器,Logosol進(jìn)口代理

Logosol,LPA26-3,獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器,Logosol進(jìn)口代理,創(chuàng)新、高性能的一體化設(shè)計(jì)，無需外部控制器和連接電纜，同時(shí)保持即插即用的兼容性。采用超低慣量無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、即時(shí)響應(yīng)。
先進(jìn)的掃描電子技術(shù)，能夠檢測(cè)透明、半透明和不透明物體，無需在不同尺寸晶圓之間進(jìn)行機(jī)械重新定位。
運(yùn)動(dòng)控制軟件具備一系列常用命令，兼容多種半導(dǎo)體平臺(tái)并實(shí)現(xiàn)接口對(duì)接。
典型對(duì)準(zhǔn)周期少于四秒，有助于實(shí)現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量。

LPA26-3 規(guī)格:

  • 晶圓直徑：2英寸、3英寸、100毫米、125毫米、150毫米
  • 晶圓透明度：透明、半透明、不透明
  • 方形基板：適用
  • 晶圓處理：真空吸盤和針
  • 中心精度：±25微米（預(yù)對(duì)準(zhǔn)器吸盤上）
  • 角度精度（3 Sigma）：
    • 10000 CPR 編碼器：±0.04°（預(yù)對(duì)準(zhǔn)器吸盤上）
    • 24000 CPR 編碼器：±0.02°（預(yù)對(duì)準(zhǔn)器吸盤上）
  • 伺服軸：三個(gè)
  • 主機(jī)通信：RS232、以太網(wǎng)
  • 最大初始晶圓偏移：10毫米（2英寸晶圓為6毫米）
  • 機(jī)身尺寸（寬 x 長(zhǎng) x 高）：173毫米 x 267毫米 x 190毫米
  • 占地面積兼容性：LPA38-3、LPA58-3、LPA4EH-3、LPA5EH-3、LPA6EH-3、LPA8EH-3
  • 重量：5.00千克
  • 所需設(shè)施：100-240VAC、50/60Hz、48VA，或24VDC/2A，真空12英寸汞柱
  • 平面/凹槽兼容性：符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
  • 清潔度：Class 1
  • 平均無故障時(shí)間（MTBF）：超過70000小時(shí)

Logosol,LPA26-3,獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，總體尺寸：

Logosol,LPA26-3,獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，照片：

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