Logosol,高升降行程機器人,diamond H3,晶圓機器人,晶圓機械手,Diamond H3 系列大氣機器人代表了晶圓處理設備設計和可靠性方面的重大工程進步。 得益于技術上更為先進的組件，這些機器人采用超低慣性、高響應的無刷伺服電機，并配合零回程的 Harmonic Drive? 齒輪，以實現顯著增強的靈活性和精度。

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