美國(guó)Logosol,預(yù)對(duì)準(zhǔn)器, 邊緣處理,邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)儀, LPA6EH-3 , LPA8ET-3 ,LPA8EH-3 , LPA68EH-3, LPA8ET-3,LPA12ET-3, LPA812EH-3

用于 150mm 晶圓的獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

LPA6EH-3-REHV1-S29-S（B）-R560V-NE系列

減少接觸邊緣處理 用于 150mm 晶圓的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

對(duì)準(zhǔn)能力：標(biāo)準(zhǔn) 150 毫米晶圓 150 毫米平面、透明和半透明基板

接觸區(qū)：光斑寬度為 1mm 的邊緣觸點(diǎn)

減少接觸邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器可容忍交付晶圓的較大初始偏移（最大 6mm）

規(guī)格