美國Logosol,晶圓預(yù)對準(zhǔn)器,LPA 系列,獨立式 12 英寸 – 18 英寸晶圓,嵌入式 3 英寸 – 12 英寸晶圓,獨立式 2“-6” 晶圓,邊緣處理，8 英寸晶圓

LPA 系列 創(chuàng)新、高性能、兼容 1 類

獨特的一體化設(shè)計消除了外部控制器和互連電纜，同時保持了直接兼容性

掃描電子設(shè)備、運動控制器和電源包含在行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)封裝內(nèi)

由超低慣量無刷電機驅(qū)動，可實現(xiàn)平穩(wěn)、即時的響應(yīng)

先進的掃描電子設(shè)備能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，而無需機械重新定位在不同尺寸之間

與晶圓處理機器人無縫接口，支持從 45mm 到 480mm 的所有晶圓尺寸，以及各種尺寸的方形襯底

Logosol 控制軟件具有一套全面的命令，可與各種半導(dǎo)體平臺兼容和接口

快速的對準(zhǔn)周期時間有助于實現(xiàn)最大的系統(tǒng)吞吐量 可作為獨立設(shè)備以及與晶圓處理機器人配合使用的嵌入式設(shè)備

可作為獨立設(shè)備和與晶圓處理機器人配合使用的嵌入式設(shè)備使用固定選項包括真空、非真空和邊緣處理

LPA 系列預(yù)對準(zhǔn)器一般尺寸

LPA 系列預(yù)對準(zhǔn)器規(guī)格