美國Logosol, 獨立晶圓預(yù)對準器,LPA12FS-3, 快速交換預(yù)對準器

LPA12FS-3

創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計無需外部控制器和互連電纜，同時保持直接兼容性

基于專有設(shè)計的快速交換功能，允許晶圓卡盤負載低于引腳水平

先進的掃描電子設(shè)備能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，而無需在不同晶圓尺寸之間進行機械重新定位

運動控制軟件具有一整套常用命令，可與各種半導(dǎo)體平臺兼容和連接

典型的對中周期時間小于 5 秒，有助于實現(xiàn)最大的系統(tǒng)吞吐量