Logosol LPA系列晶圓預(yù)對準(zhǔn)器

創(chuàng)新、高性能、兼容1級
獨特的一體化設(shè)計消除了外部控制器和互連電纜，同時保持了插入式兼容性
掃描電子設(shè)備、運動控制器和電源包含在行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)占地面積內(nèi)
由超低慣性無刷電機驅(qū)動，實現(xiàn)平穩(wěn)、即時的響應(yīng)
先進的掃描電子設(shè)備能夠檢測透明、半透明和不透明物體，而無需在不同尺寸之間進行機械重新定位
與晶圓搬運機器人無縫對接，支持45mm至480mm的所有晶圓尺寸以及相應(yīng)尺寸的方形基板
Logosol控制軟件具有一套全面的命令，可與各種半導(dǎo)體平臺兼容和接口
快速的對齊周期有助于實現(xiàn)最大的系統(tǒng)吞吐量
既可作為獨立設(shè)備，也可作為與晶圓搬運機器人協(xié)同工作的嵌入式設(shè)備
保留選項包括真空、非真空和邊緣處理