Logosol獨立式邊緣處理晶圓預對準器、Logosol晶圓預對準器LPA1218-1E

創新性高性能一體化設計
無需外部控制器與連接線纜
即裝即用兼容現有系統

采用超低慣量無刷電機驅動
響應迅捷平穩運行

先進掃描電子系統可檢測
透明/半透明/不透明物體
無需機械調整即可適配不同尺寸晶片

運動控制軟件配備全套常用指令
兼容多種半導體平臺接口

典型對準周期小于4秒
助力實現系統最大吞吐量