Logosol獨(dú)立式邊緣處理晶圓預(yù)對準(zhǔn)器、Logosol晶圓預(yù)對準(zhǔn)器LPA58-1E
創(chuàng)新高效一體化設(shè)計(jì)
省去外部控制器與連接線纜
即插即用兼容現(xiàn)有系統(tǒng)
超低慣量無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)
響應(yīng)迅捷運(yùn)行平穩(wěn)
先進(jìn)掃描電子系統(tǒng)可識別
透明/半透明/不透明材質(zhì)
無需機(jī)械調(diào)整即適配多種晶圓尺寸
集成完備常用指令集的運(yùn)動(dòng)控制軟件
兼容各類半導(dǎo)體平臺接口
典型對準(zhǔn)周期短于4秒
助力實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)最大產(chǎn)能
| 晶圓直徑 | 125毫米, 150毫米, 200毫米 |
|---|---|
| 晶圓透光度 | 透明/半透明/不透明 |
| 方形基板 | 支持 |
| 晶圓處理方式 | 真空吸盤 |
| 對中精度 | 預(yù)對準(zhǔn)吸盤上±50微米 |
| 角度精度(3σ) | 預(yù)對準(zhǔn)吸盤上±0.06° |
| 10000 CPR編碼器 | 預(yù)對準(zhǔn)吸盤上±0.04° |
| 24000 CPR編碼器 | |
| 伺服軸數(shù) | 單軸 |
| 主機(jī)通信 | RS232, 以太網(wǎng) |
| 最大初始偏移量 | 10毫米 |
| 外形尺寸(寬×長×高) | 95×266×191毫米 |
| 兼容機(jī)型 | LPA25-1E, LPA38-1E, LPA312-1E, LPA812-1E, LPA1218-1E |
| 重量 | 3.50公斤 |
| 所需設(shè)施 | 100-240V交流電,50/60Hz,48VA 或24V直流/2A 真空12英寸汞柱 |
| 平邊/凹槽兼容性 | 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn) |
| 潔凈等級 | Class 1級 |
| 平均無故障時(shí)間 | 超過70000小時(shí) |
