Logosol獨立式邊緣處理晶圓預對準器、Logosol晶圓預對準器LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE

150毫米晶片減接觸式邊緣處理預對準儀
對準能力：標準150毫米晶片
適用于150毫米平面、透明及半透明基板
接觸區域：邊緣接觸，光斑寬度1毫米
減接觸式邊緣處理預對準儀可容忍更大的晶片初始偏移量（最大6毫米）