Logosol diamond H3晶圓機器人、Logosol晶圓處理平臺
Logosol晶圓處理平臺包含源自30多年半導體自動化經驗的各種產品和服務。技術范圍從硬件、軟件和機械設計到制造、集成和應用工程。該公司與晶圓搬運機器人和預對準器相關的設計解決了需要直接更換半導體晶圓廠遺留產品的應用,以及OEM制造商新開發的資本設備中的自動化材料搬運。這些產品線采用Logosol完全擁有和控制的技術,包括運動控制電子設備、晶圓處理固件、軟件工具、實用工具和機械設計。整個技術范圍的可用性允許極高水平的無縫集成、可制造性、可靠性和成本效益。
Logosol擁有向各種實體授權其晶圓處理自動化專有技術的悠久歷史。作為靈活的模塊化自動化平臺的一部分,這些產品包括各種機器人尺寸和手臂配置。被許可方受益于公司在半導體自動化領域的豐富專業知識、成熟的產品和解決方案,以及在該領域30多年的專業經驗。我們公司提供全面且高度可定制的統一技術,涵蓋您項目的方方面面,從機械設計到運動控制電子設備、固件、軟件工具和實用程序。無論您需要簡單還是復雜的解決方案,我們都可以定制我們的技術來滿足您的特定要求。你將完全控制你的項目,而不依賴于第三方的補充。我們的技術設計靈活、可擴展、可靠,確保高性能和高質量標準。該公司不僅提供制造許可證和文件,還提供機器人控制器、電源和制造整個產品所需的特定電子模塊。此外,Logosol提供最全面的晶圓預對準器,可與所有許可的晶圓搬運機器人無縫集成。
LRC-x31g3是三軸、四軸和五軸機器人控制器,帶有集成CPU板和功率放大器,專為需要精確控制旋轉或線性無刷電機的應用而設計。它們可以用作內置或外部控制器。LRC-x31g3通過主機RS-232或10/100 Base-T以太網接口進行控制。使用Logosol分布式控制網絡擴展接口可以無縫連接額外的外部設備。LRC-x31g3配備了各種安全功能,如輸出和電機短路保護、欠壓關閉和編碼器存在控制、智能停止功能,以避免機器在外部停止或電源斷開時機械臂掉落。先進的運動控制技術支持非常高分辨率的編碼器,能夠產生出色的多軸軌跡。硬件輔助的位置鎖存提高了動態晶圓對準的精度。
MCL5是Logosol的第五代專有運動控制軟件包,提供特定領域編程語言和多任務實時解釋器。這是一個致力于機器人控制應用程序設計的編程框架。MCL5可執行程序包括運動控制器和I/O模塊的集成、各種機器人運動學的實現、對復雜軌跡運動的支持以及對系統完整性的監控。該可執行文件還包括一個實時多任務腳本解釋器。它允許設計應用特定的腳本,可用于協調機器人運動的序列,并實現自定義主機通信協議。腳本語言由一組保留字定義,其表達式語法類似于C編程語言。
Diamond H3系列大氣機器人代表了一個重要的晶圓處理設備的設計和可靠性方面的工程進步。
得益于技術先進的組件,機器人利用超低慣性、高響應的無刷伺服電機,結合零間隙Harmonic Drive?齒輪,大大提高了靈活性和精度。
創新的一體化1級潔凈室兼容設計將運動控制器、伺服放大器和電源整合到機器人的行業標準占地面積內。
高強度結構件可實現頂部、底部或側面安裝配置,而不會影響系統剛度。32位實時內核可沿平滑連續軌跡提供精確的運動分析,而分布式控制架構允許與線性軌跡、預對準器和其他子組件無縫集成。