Logosol LPA26-3獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

Logosol LPA26-3獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

創(chuàng)新的高性能一體式設(shè)計(jì)消除了外部控制器和互連電纜,同時(shí)保持了插入式兼容性
由超低慣性無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng),實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、即時(shí)的響應(yīng)
先進(jìn)的掃描電子設(shè)備能夠檢測(cè)透明、半透明和不透明物體,而無(wú)需在不同晶片尺寸之間進(jìn)行機(jī)械重新定位
運(yùn)動(dòng)控制軟件具有一套全面的常用命令,可與各種半導(dǎo)體平臺(tái)兼容和接口
典型的對(duì)齊周期時(shí)間小于四秒,有助于實(shí)現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量


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