Logosol LPA8EH-3晶圓預對準器-減少接觸邊緣處理

減少接觸邊緣處理200mm晶圓的預對準器
對齊能力：標準200mm晶圓，200mm平面，透明和
半透明基板
接觸區：邊緣接觸，斑點寬度為1mm
減少接觸邊緣處理預對準器可容忍更大的初始偏移
交付的晶圓（最大6mm）